Le CNRS
CNRS - Chimie
Autres sites CNRS
 
     Accueil > Spectrométries - Microscopies - Autres techniques d'analyses > Ellipsomètre
 

Ellipsomètre spectroscopique

Modèle Uvisel, Horiba Jobin Yvon

Responsable : Jean-François Blach

Gamme de longueur d'onde : 350nm – 1600nm

Mode de fonctionnement :

mesure des états de polarisation par modulation de phase. Peut travailler en réflexion ou en transmission.

Software :

DeltaPsi2, structures possibles : isotropes, anisotropes uniaxes ou biaxes, homogène ou à gradient d'indice; multicouches, modèles de fonctions diélectriques dans la banque de fonctions : très vaste! Convient pour les isolants, conducteurs et semiconducteurs.

Principe :

L'ellipsométrie consiste à mesurer l'état de polarisation d'un faisceau qui a été réfléchi par un échantillon. Le faisceau incident ayant une polarisation connue, on en déduit le changement d'état de polarisation. Un modèle calcule ce changement (software "DeltaPsi2"), qui dépend de la nature et de la structure de l'échantillon sur lequel le faisceau a été réfléchi (ou transmis); plus précisément, de la fonction diélectrique de celui-ci. Une procédure d'ajustement des paramètres introduits dans le modèle avec les données expérimentales permet de déterminer cette fonction diélectrique (parties réelle et imaginaire). Un ellipsométre spectroscopique réalise la même opération mais sur une gamme de longueur d'onde et donne ainsi la fonction diélectrique sur cette gamme de longueur d'onde, ici le visible et très proche infra-rouge.ellipsometre

 

 

 
 

Annuaire

Rechercher
Sur le WEB du CNRS



UCCS ARTOIS

Accueil Imprimer Contact Plan du site Credits Plug-ins